Fue inventada por un abogado de patentes estadounidense llamado Chester Carlson en 1938. La inventó debido a su artrosis que le hacía difícil expender copias de los documentos importantes que se requerían en su trabajo. Consiguió hacer una fotocopia utilizando una placa de zinc cubierta de sulfuro en unos experimentos de electrofotografía que hizo en su cocina. Las primeras palabras grabadas fueron "10-22-38 Astoria".
Tardó varios años en que alguna organización se interesase por su invento, no fue hasta 1944 cuando el Batelle Memorial Institute lo contrató para mejorar su invento, en 1947 la empresa Haloid también se interesó por las investigaciones que se estaban desarrollando en este instituto. En 1949 con la empresa rebautizada como Xerox Corporation se empezaron a vender las primeras fotocopiadoras (rebautizadas como máquinas xerográficas o Xerox Machines), el primer modelo a la venta llevaba el nombre de "Model A". El primer éxito comercial de este tipo de máquinas llegó con la fotocopiadora Xerox 914 lanzada en 1959 y que consiguió finalmente popularizar este invento. Las fotocopiadoras en color no llegaron hasta 1968, año en que la empresa 3M empezó a comercializarlas.
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